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题名/责任者:

SOI——纳米技术时代的高端硅基材料/林成鲁编著

出版发行项:

合肥:中国科学技术大学出版社,2009

ISBN及定价:

978-7-312-02233-3/CNY88.00

载体形态项:

468页;24cm

并列正题名:

SOI: advanced silicon-based materials for the nanotechnology era

编目员补充题名:

纳米技术时代的高端硅基材料

丛编项:

当代科学技术基础理论与前沿问题研究丛书

个人责任者:

林成鲁 编著

学科主题:

硅-纳米材料-文集

中图法分类号:

TB383

一般附注:

“十一五”国家重点图书

提要文摘附注:

本书收集了纳米技术时代的高端硅基SOI材料方面的研究论文40篇，主要内容包括：SOI——纳米技术时代的高端硅基材料进展、SOI新材料的制备科学、SOI材料与器件特有的物理效应、绝缘体上锗硅新结构和应变硅的制备科学、SOI技术的若干应用研究等。

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