MARC状态：审校 文献类型：中文期刊 浏览次数：110
- 题名/责任者:
- 微细加工技术/电子工业部第四十八研究所
- 出版发行项:
- 长沙:电子工业部第四十八研究所,1983-
- ISSN及定价:
- 1003-8213
- 统一书刊号:
- CN
- 邮发代号:
- 457
- 载体形态项:
- v.;26cm
- 起止卷期:
- 1983,no.1(1983.9)- =总1-
- 并列正题名:
- Micro Fabrication Technolocy
- 编目员补充题名:
- Wei Xi Jia Gong Ji Shu
- 前题名:
- 半导体工艺设备
- 团体责任者:
- 电子工业部第四十八研究所 编辑
- 中图法分类号:
- TN4
- 中图法分类号:
- TN4
- 一般附注:
- 1983,no.1为创刊号。
- 出版周期附注:
- 季刊 1983-
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 |
| TN4/W1 | 71869819 |  工具书库（11F）
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非可借 | |
| TN4/W1 | 10050923 | 208 1-6 | 过刊合订本库（密集库）（1F）
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非可借 |
| TN4/W1 | 10043874 | 2007 1-6 | 过刊合订本库（密集库）（1F）
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非可借 |
| TN4/W1 | 10047764 | 2006 1-6 | 过刊合订本库（密集库）（1F）
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非可借 |
| TN4/W1 | 10039005 | 2005 (1-4) | 过刊合订本库（密集库）（1F）
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非可借 |
| TN4/W1 | 10036035 | 2004 (1-4) | 过刊合订本库（密集库）（1F）
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非可借 |
| TN4/W1 | 00031084 | 2003 (1-4) | 过刊合订本库（密集库）（1F）
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非可借 |
| TN4/W1 | 00028524 | 2002 (1-4) | 过刊合订本库（密集库）（1F）
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非可借 |
| TN4/W1 | 10035250 | 2001 (1-4) | 过刊合订本库（密集库）（1F）
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非可借 |
| TN4/W1 | 00004950 | 1984 (1-4) | 过刊合订本库（密集库）（1F）
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非可借 |
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