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题名/责任者:

等离子体放电原理与材料处理/(美)迈克尔·A.力伯曼(Michael A. Lieberman)，阿伦·J.里登伯格(Allan J. Lichtenberg)著 蒲以康等译

出版发行项:

北京:科学出版社,2007.3

ISBN及定价:

7-03-018659-1/CNY75.00

ISBN及定价:

978-7-03-018659-1/CNY75.00

载体形态项:

34,585页;24cm

并列正题名:

Principles of plasma discharges and materials processing

丛编项:

工程技术丛书

个人责任者:

力伯曼 迈克尔·A. 著

个人责任者:

里登伯格 阿伦·J. 著

个人责任者:

Lieberman Michael A. 著

个人责任者:

Lichtenberg Allan J. 著

个人次要责任者:

蒲以康 著

个人次要责任者:

蒲以康 译

学科主题:

放电

学科主题:

等离子体

学科主题:

等离子体-放电

中图法分类号:

O461

一般附注:

实用技术

版本附注:

根据原书第二版译出

相关题名附注:

英文原名：Principles of plasma discharges and materials processing

提要文摘附注:

本书阐述了等离子体物理和化学的基本原理及工业等离子体材料处理的原理，并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积，离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用，反映本领域的最新研究进展。

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