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题名/责任者:

MEMS/NEMS谐振器技术/张文明,胡开明著

出版发行项:

北京:科学出版社,2023

ISBN及定价:

978-7-03-075719-7 精装/CNY298.00

载体形态项:

475页:图 (部分彩图);25cm

个人责任者:

张文明 著

个人责任者:

胡开明 著

学科主题:

微机电系统-谐振器

中图法分类号:

TN629.1

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书主要介绍微/纳机电系统 (MEMS/NEMS) 谐振器动力学设计理论、分析方法及应用技术。全书共9章, 主要包括: 介绍MEMS/NEMS技术基础和谐振器技术的发展历程与趋势 ; 阐述EMS/NEMS谐振器的工作原理、谐振结构设计理论及分析技术 ; 介绍谐振器件制备涉及的材料、微纳加工工艺及技术 ; 论述NEMS/NEMS谐振器中存在的丰富非线性现象、复杂动力学行为 ; 介绍微纳尺度下的能量耗散理论、阻尼特性与作用机制及测试方法 ; 详细介绍谐振器件中应用的各种振动激励与检测原理及技术 ; 阐述通道式谐振器检测原理、动力学设计与分析技术 ; 论述微纳尺度下谐振器件的模态弱耦合作用机制、谐振器设计及传感技术 ; 介绍MEMS/NEMS谐振器中存在的典型失效模式与失效机理, 并论述多种可靠性评估方法及测试技术。

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