MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：60
- 题名/责任者:
- 微传感器 MEMS与智能器件/(英)朱利安 W. 加德纳，(美)维贾伊 K. 瓦拉丹，(美)奥萨马 O. 阿瓦德卡里姆著 范茂军[等]译
- 出版发行项:
- 北京:中国计量出版社,2007
- ISBN及定价:
- 978-7-5026-2557-3/CNY78.00
- 载体形态项:
- 477页:图表;25cm
- 个人责任者:
- (英) 加德纳 (Gardner, Julian W.) 著
- 个人责任者:
- (美) 瓦拉丹 (Varadan, Vijay K.) 著
- 个人责任者:
- (美) 阿瓦卡德卡里姆 (Awadelkarim, Osama O.) 著
- 个人次要责任者:
- 范茂军 译
- 学科主题:
- 微型-传感器
- 学科主题:
- 微型
- 学科主题:
- 传感器
- 学科主题:
- 微电子技术
- 中图法分类号:
- TP212
- 题名责任附注:
- 其它译者还有：鲁德双、刘光辉、亢春梅等。
- 书目附注:
- 本书附有书目及索引
- 提要文摘附注:
- 本书内容包括：电子材料与加工技术；微电子机械系统用材料及其制备；标准微电子工艺；硅微机械加工：体加工技术；硅微机械加工：表面加工技术等。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TP212/422/2 | 71201253 | - |  临安密1(信息工程学院)(不可借)
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非可借 | 临安密1(信息工程学院)(不可借) |
| TP212/422/2 | 71201254 | - | 临安密1(信息工程学院)(不可借)
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非可借 | 临安密1(信息工程学院)(不可借) |
| TP212/422/2 | 71201255 | - | 临安密1(信息工程学院)(不可借)
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非可借 | 临安密1(信息工程学院)(不可借) |
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