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题名/责任者:

集成电路(IC)制程简论/田民波编著

出版发行项:

北京:清华大学出版社,2009

ISBN及定价:

978-7-302-20959-1/CNY33.00

载体形态项:

15, 244页:图;23cm

并列正题名:

Brief introduction to IC process

丛编项:

新材料及在高技术中的应用丛书

个人责任者:

田民波 编著

学科主题:

集成电路

中图法分类号:

TN4

相关题名附注:

封面英文题名：Brief introduction to IC process

提要文摘附注:

本书以特征线宽130nm以下为重点，涉及集成电路制作工艺的各个方面，特别是包括短波长光源、步进与扫描照相曝光系统、CMP平坦化、双大马士革Cu布线、低-k介质材料、SoC与SiP等。

电子资源:

http://www.bookuu.com/kgsm/ts/2009/12/08/1642669.shtml

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