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题名/责任者:

Silicon micromachining / M. Elwenspoek and H.V. Jansen.

版本说明:

1st pbk. ed

出版发行项:

Cambridge, U.K. ; New York : Cambridge University Press,

ISBN:

0521607671

载体形态项:

xiii, 405 p. : ill. ; 25 cm

丛编题名:

Cambridge studies in semiconductor physics and

个人责任者:

Elwenspoek, M. (Miko), 1948-

附加个人名称:

Jansen, H. V. (Henri V.)

论题主题:

Silicon

论题主题:

Micromachining

论题主题:

Etching

中图法分类号:

TN4

一般附注:

"First published 1998"--T.p. verso

书目附注:

Includes bibliographical references and index

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