MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：78
- 题名/责任者:
- 微机电系统 (MEMS) 工艺基础与应用/邱成军, 曹姗姗, 卜丹编著
- 出版发行项:
- 哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社,2016
- ISBN及定价:
- 978-7-5603-5109-4/CNY48.00
- 载体形态项:
- 301页:图;23cm
- 个人责任者:
- 邱成军 编著
- 个人责任者:
- 曹姗姗 编著
- 个人责任者:
- 卜丹 编著
- 学科主题:
- 微电机-高等学校-教材
- 中图法分类号:
- TM38
- 一般附注:
- “十二五”国家重点图书
- 书目附注:
- 有书目 (第299-301页)
- 提要文摘附注:
- 本书共分为10章，主要内容有：MEMS系统简介，MEMS相关力学基础，体硅加工工艺，表面微加工工艺，硅片键合工艺，LIGA技术，MEMS传感器，MES执行器，MEMS的封装，MEMS的应用及检测技术。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TM38/753 | 72132961 | - |  自然科学第二书库（7F）
|
可借 | 现代技术部（1F） |
| TM38/753 | 72132962 | - | 自然科学第二书库（7F）
|
可借 | 总借还书处（2F） |
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