MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：74
- 题名/责任者:
- 微电子工艺与装备技术/夏洋, 解婧, 陈宝钦编著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2023
- ISBN及定价:
- 978-7-03-075192-8/CNY88.00
- 载体形态项:
- 227页:图;26cm
- 丛编项:
- 中国科学院大学研究生教材系列
- 个人责任者:
- 夏洋 编著
- 个人责任者:
- 解婧 编著
- 个人责任者:
- 陈宝钦 编著
- 学科主题:
- 微电子技术-研究生-教材
- 中图法分类号:
- TN4
- 书目附注:
- 有书目 (第221-227页)
- 提要文摘附注:
- 本书重点介绍微电子制造工艺技术的基本原理、途径、集成方法与设备。主要内容包括集成电路制造工艺、相关设备、新原理技术及工艺集成。《微电子工艺与装备技术》力求让学生在了解集成电路制作基本原理与方法的基础上, 紧密地联系生产实际, 方便地理解这些原本复杂的工艺和流程, 从而系统掌握半导体集成电路制造技术。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN4/1303 | 72523202 |  自然书库（3F东）
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可借 | 自然书库（3F东） | |
| TN4/1303 | 72523203 | 自然书库（3F东）
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可借 | 自然书库（3F东） | |
| TN4/1303 | 72523204 | 自然书库（3F东）
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可借 | 自然书库（3F东） |
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