MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:46
- 题名/责任者:
- MEMS可靠性/(日)O. Tabata,T. Tsuchiya著 宋竞[等]译
- 出版发行项:
- 南京:东南大学出版社,2009
- ISBN及定价:
- 978-7-5641-1575-3/CNY50.00
- 载体形态项:
- 247页:图;24cm
- 并列正题名:
- Reliability of MEMS
- 丛编项:
- 微纳系统系列译丛
- 个人责任者:
- (日) 田畑 (Tabata, O.) 著
- 个人责任者:
- (日) 土屋 (Tsuchiya, T.) 著
- 个人次要责任者:
- 宋竞 译
- 学科主题:
- 微电子技术-可靠性
- 中图法分类号:
- TN4
- 题名责任附注:
- 译者还有:尚金堂、唐洁影、黄庆安。
- 版本附注:
- 本书中文简体字翻译版由WILEY-VCH授权出版
- 责任者附注:
- 责任者Tabata规范汉译姓:田畑;责任者Tsuchiya规范汉译姓:土屋
- 提要文摘附注:
- 本书是国际上MEMS可靠性领域第一本专著,共分为两部分。第一部分论述MEMS材料的可靠性内容及主要表征方法,包括MEMS材料的可靠性,微纳压痕仪,鼓胀测试,弯曲测试,单轴张应力测试,片上测试;第二部分论述MEMS器件的可靠性,包括压力传感器可靠性,惯性传感器可靠性,RFMEMS可靠性和光MEMS可靠性。
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索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 |
TN4/690 | 71487969 | - | 样本书阅览室(密集书库136) | 非可借 |
TN4/690 | 71487970 | - | 自然书库(3F东) | 可借 |
TN4/690 | 71487971 | - | 自然书库(3F东) | 可借 |
TN4/690 | 71487972 | - | 自然书库(3F东) | 可借 |
TN4/690 | 71487973 | - | 自然书库(3F东) | 可借 |
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