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题名/责任者:

硅超大规模集成电路式工艺技术:Fundamentals, Practice and Modeling/（美）James D.Plummer, Michael D.Deal, Peter B.Griffin著 严利人，王玉东，熊小义等译

出版发行项:

北京:电子工业出版社,2005.12

ISBN及定价:

7-121-01987-6/CNY68.00

载体形态项:

17,618页;27cm

并列正题名:

Silicon VLSI Technology:Fundamentals, Practice and Modeling

丛编项:

国外电子与通信教材系列

个人责任者:

普卢默 J. D. 著

个人责任者:

Plummer James D. 著

个人责任者:

Deal Michael D. 著

个人责任者:

Griffin Peter B. 著

个人次要责任者:

严利人 译

个人次要责任者:

王玉东 译

个人次要责任者:

熊小义 译

学科主题:

硅-超大规模集成电路-技术-教材

非控制主题词:

VLSI

中图法分类号:

TN47

出版发行附注:

电子工业出版社和Pearson Education培生教育出版亚洲有限公司合作出版

提要文摘附注:

本书不仅介绍了与超大规模集成电路芯片生产制造相关的实际工艺技术，而且着重讲解了这些工艺技术背后的科学原理。特别是对于每一步单项工艺技术，书中都通过工艺模型和工艺模拟软件，直观地给出了实际工艺过程的物理图像。

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