MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：55
- 题名/责任者:
- 半导体工艺与测试实验/谢德英[等]编
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2015
- ISBN及定价:
- 978-7-03-043646-7/CNY34.00
- 载体形态项:
- 182页:图;26cm
- 个人责任者:
- 谢德英 编
- 学科主题:
- 半导体工艺-实验-高等学校-教材
- 中图法分类号:
- TN305
- 一般附注:
- 国家级物理实验教学示范中心系列教材 中山大学物理学实验系列教程
- 题名责任附注:
- 编者还有：陈晖、黄展云、陈军
- 提要文摘附注:
- 本书内容包括半导体工艺的6个主要单项实验、半导体材料特性表征与器件测试实验、工艺和器件特性仿真实验，并通过综合流程实验整合各单项实验知识和技能，着重培养学生的半导体器件的综合设计能力。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 |
| TN305/324 | 72042429 | - |  临安自科(N-Z)(2F)(信息工程学院)
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可借 |
| TN305/324 | 72042430 | - | 临安自科(N-Z)(2F)(信息工程学院)
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可借 |
| TN305/324 | 72042431 | - | 临安自科(N-Z)(2F)(信息工程学院)
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可借 |
| TN305/324 | 72093678 | - | 自然书库（3F东）
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可借 |
| TN305/324 | 72093679 | - | 自然书库（3F东）
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可借 |
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