MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：36
- 题名/责任者:
- 硅片加工技术/康自卫, 王丽主编
- 出版发行项:
- 北京:化学工业出版社,2010
- ISBN及定价:
- 978-7-122-09058-4/CNY30.00
- 载体形态项:
- 240页:图;26cm
- 丛编项:
- 太阳能光伏产业—硅材料系列教材
- 个人责任者:
- 康自卫 主编
- 个人责任者:
- 王丽 主编
- 学科主题:
- 半导体工艺-教材
- 中图法分类号:
- TN305
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书主要从实际工艺的角度对硅片生产全过程进行了介绍，包括硅单晶的基本特性和晶体结构，硅片生产设备的种类、性能及其使用方法，硅单晶从滚磨与开方、切割、研磨、抛光、清洗一直到检验包装的整个生产过程与管理，其中针对太阳能硅片的生产有适当的介绍。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 |
| TN305/021 | 71712704 | - |  自然书库（3F东）
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可借 |
| TN305/021 | 71712705 | - | 自然书库（3F东）
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可借 |
| TN305/021 | 71712706 | - | 自然书库（3F东）
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可借 |
| TN305/021 | 71712707 | - | 自然书库（3F东）
|
可借 |
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