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题名/责任者:

微纳制造与微机电系统/李经民，刘冲，王立鼎编著

出版发行项:

北京:科学出版社,2024.08

ISBN及定价:

978-7-03-079358-4/CNY82.00

载体形态项:

281页:图，照片;26cm

个人责任者:

李经民 编著

个人责任者:

刘冲 编著

个人责任者:

王立鼎 编著

学科主题:

微机电系统-高等学校-教材

中图法分类号:

TH-39

一般附注:

科学出版社“十四五”普通高等教育研究生规划教材

提要文摘附注:

本书共8章，第1章概述MEMS的定义、特点、制造技术、发展历程与未来发展趋势；第2、3章分别介绍体硅和表面微加工技术的原理、流程、常见问题与解决方法；第4章阐述近年来体硅和表面硅工艺在MEMS器件制造方面的应用；第5章介绍LIGA/准LIGA技术；第6章介绍MEMS微传感器；第7章介绍MEMS微执行器；第8章介绍MEMS技术在生物医学、军事安全、远程通信以及航空航天等领域的典型应用案例。

使用对象附注:

本书适用于高等院校机械工程、仪器科学与技术、电子科学与技术、物理学等专业本科生和研究生

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