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题名/责任者:

MEMS与微系统:设计、制造及纳尺度工程/(美) 徐泰然著 梁仁荣, 刘立滨等译

出版发行项:

北京:电子工业出版社,2017

ISBN及定价:

978-7-121-30499-6/CNY79.00

载体形态项:

18, 367页:图;26cm

统一题名:

MEMS and microsystems : design, manufacture, and nanoscale engineering

其它题名:

设计、制造及纳尺度工程

丛编项:

国外电子与通信教材系列

个人责任者:

徐泰然 (Hsu, Tai-Ran) 著

个人次要责任者:

梁仁荣 译

个人次要责任者:

刘立滨 译

学科主题:

微电机-教材

中图法分类号:

TM38

版本附注:

据原书第2版译出

出版发行附注:

由John Wiley & Sons, Inc.授权出版

责任者附注:

责任者规范汉译姓:

书目附注:

有书目 (第357-367页)

提要文摘附注:

本书首先对纳米技术的发展历史做了一个简要的回顾，然后对各种纳米结构在工程设计方面的基本原理做了详细的介绍，包括形成纳米结构的制造技术、基于分子动力学的工程设计原理以及纳尺度材料中的流体流动与热传导特性等。

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