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MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：29

题名/责任者:
微系统原理与技术/傅建中, 胡旭晓编著
出版发行项:
北京:机械工业出版社,2005.3
ISBN及定价:
7-111-15782-6/CNY26.00
载体形态项:
223页;24cm
并列正题名:
Microsystems:Theory and Technology
个人责任者:
傅建中 编著
个人责任者:
胡旭晓 编著
学科主题:
微电机
中图法分类号:
TM38
提要文摘附注:
本书系统阐述了微系统技术的基本概念、原理和特点；全面介绍了微系统设计技术、微制造技术、微系统检测技术、微系统集成与控制技术和典型微系统——芯片实验室技术。
全部MARC细节信息>>
索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态
TM38/215 70785854   样本书阅览室（密集书库136）     非可借
TM38/215 70785855   自然科学第二书库（7F）     可借
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