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题名/责任者:

新型微机电系统与器件/马宗敏主编

出版发行项:

西安:西安电子科技大学出版社,2022.10

ISBN及定价:

978-7-5606-6530-6/CNY49.00

载体形态项:

312页:图，照片;26cm

并列正题名:

New micro-electro-mechanical systems and devices

个人责任者:

马宗敏 主编

学科主题:

微机电系统-高等学校-教材

中图法分类号:

TH-39

一般附注:

高等学校微电子类专业系列教材

相关题名附注:

封面英文题名：New micro-electro-mechanical systems and devices

责任者附注:

马宗敏，中北大学教授，博士生导师，中国仪器仪表学会量子传感与精密测量分会常务理事，主要从事量子传感与精密测量方面的科研和教学工作。

提要文摘附注:

本书共七章，内容包括：近年来微机电系统的发展、MEMS惯性器件及系统、回音壁模式微腔器件及系统、典型水声传感器件及系统、典型高温压力传感器件及系统、量子传感器件及系统、柔性传感器件及系统。

使用对象附注:

本书适用于仪器仪表、精密机械、传感器、电子等相关专业的高年级本科生、研究生或相关专业技术人员

电子资源:

http://www.zxhsd.com/kgsm/ts/2023/02/15/5946609.shtml

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