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MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：48

题名/责任者:
半导体制造过程的批间控制和性能监控/郑英，王妍，凌丹著
出版发行项:
北京:科学出版社,2023
ISBN及定价:
978-7-03-070817-5/CNY128.00
载体形态项:
243页;24cm
个人责任者:
郑英 著
个人责任者:
王妍 著
个人责任者:
凌丹 著
学科主题:
半导体工艺
中图法分类号:
TN305
提要文摘附注:
本书共十一章，基于当前半导体行业制造过程中存在的问题，介绍了多种改进的批间控制和过程监控算法及其性能。
全部MARC细节信息>>
索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态 还书位置
TN305/840 72550662   自然书库（3F东）     可借 自然书库（3F东）
TN305/840 72550663   自然书库（3F东）     可借 自然书库（3F东）
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