MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:101
- 题名/责任者:
- 微机电系统设计与加工/(美) Mohamed Gad-el-Hak编 张海霞, 赵小林等译
- 出版发行项:
- 北京:机械工业出版社,2010
- ISBN及定价:
- 978-7-111-28597-7 精装/CNY63.00
- 载体形态项:
- x, 536页, [4] 页图版:图 (部分彩图);27cm
- 丛编项:
- 国际机械工程先进技术译丛
- 个人责任者:
- 盖德 (Gad-el-Hak, Mohamed) 编
- 个人次要责任者:
- 张海霞 译
- 个人次要责任者:
- 赵小林 译
- 学科主题:
- 微电机-系统设计
- 学科主题:
- 微电机-加工
- 中图法分类号:
- TM38
- 责任者附注:
- 责任者Gad-el-Hak规范汉译姓: 盖德
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书内容包括: MEMS中的材料, MEMS制造, LIGA及其微模压, 基于X射线的加工, EFAB技术及其应用, 单晶SiC MEMS制造、特性与可靠性, 用于碳化硅体微加工的等离子体反应深刻蚀, 聚合物微系统: 材料和加工, 光诊断方法考察微流道的入口长度, 应用于航空航天的微化学传感器, 恶劣环境下的MEMS器件封装技术, 纳机电系统制造技术, 分子自组装基本概念及应用。
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索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
TM38/820 | 71643714 | - | 自然科学第二书库(7F) | 可借 | |
TM38/820 | 71643715 | - | 自然科学第二书库(7F) | 可借 | |
TM38/820 | 71643716 | - | 自然科学第二书库(7F) | 可借 | 现代技术部(1F) |
TM38/820 | 71643717 | - | 自然科学第二书库(7F) | 可借 | |
TM38/820 | 71643718 | - | 自然科学第二书库(7F) | 可借 | 现代技术部(1F) |
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