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题名/责任者:

半导体制造系统智能调度/吴启迪[等]著

出版发行项:

北京:清华大学出版社,2015

ISBN及定价:

978-7-302-39118-0/CNY29.00

载体形态项:

206页;26cm

并列正题名:

Intelligent scheduling of semiconductor manufacturing system

个人责任者:

吴启迪 著

学科主题:

半导体工艺-调度程序

中图法分类号:

TN305

题名责任附注:

著者还有：李莉、乔非、于青云

提要文摘附注:

本书以半导体制造系统为研究对象，在全面分析其调度特点的基础上，分析半导体制造系统各类调度问题，运用智能化方法设计了相应的求解方案，并通过实例给出了各类调度问题智能化解决方案的实际使用方法。本书在认真总结国内外多年的半导体制造系统智能调度研究成果的基础上，结合作者多年在制造系统智能调度，特别是半导体制造系统智能调度领域的研究与应用成果，对复杂的半导体制造系统智能调度问题从理论到方法再到应用进行了全方位、系统化的论述。

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