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MARC状态：已编 文献类型：西文图书 浏览次数：21

题名/责任者:
Microlithography and Metrology in Micromachining 3 Friedrich, Craig R.
出版发行项:
Wash. D. C. SPIE 1997.
ISBN:
0-8194-2657-1
载体形态项:
VII, 134c27cm
附加个人名称:
Friedrich, Craig R.
中图法分类号:
TG519.1
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索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态
TG519.1/F1 40033411   外文书库(外文原版)（11F）     可借
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