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题名/责任者:

微机电技术/田文超，娄利飞编著

出版发行项:

西安:西安电子科技大学出版社,2014

ISBN及定价:

978-7-5606-3335-0/CNY50.00

载体形态项:

412页:图;23cm

并列正题名:

Micro electro mechanical technology

丛编项:

新兴微纳电子技术丛书

个人责任者:

田文超 编著

个人责任者:

娄利飞 编著

学科主题:

微电机-研究生-教材

中图法分类号:

TM38

一般附注:

“十二五”国家重点图书出版规划项目 陕西出版资金资助项目 西安电子科技大学研究生精品教材建设工程资助 西安电子科技大学教材立项资助

提要文摘附注:

本书介绍了微机电技术基本内容、分析方法和主要应用，包括微机电系统概述、材料、工艺、典型器件、应用，RF MEMS及重构天线，MEMS力学问题等。

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