MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:41
- 题名/责任者:
- 微机电技术/田文超,娄利飞编著
- 出版发行项:
- 西安:西安电子科技大学出版社,2014
- ISBN及定价:
- 978-7-5606-3335-0/CNY50.00
- 载体形态项:
- 412页:图;23cm
- 丛编项:
- 新兴微纳电子技术丛书
- 个人责任者:
- 田文超 编著
- 个人责任者:
- 娄利飞 编著
- 学科主题:
- 微电机-研究生-教材
- 中图法分类号:
- TM38
- 一般附注:
- “十二五”国家重点图书出版规划项目 陕西出版资金资助项目 西安电子科技大学研究生精品教材建设工程资助 西安电子科技大学教材立项资助
- 提要文摘附注:
- 本书介绍了微机电技术基本内容、分析方法和主要应用,包括微机电系统概述、材料、工艺、典型器件、应用,RF MEMS及重构天线,MEMS力学问题等。
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索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 |
TM38/604 | 71994858 | - | ![]() |
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TM38/604 | 71994859 | - | ![]() |
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TM38/604 | 71994860 | - | ![]() |
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