MARC状态:已编 文献类型:西文图书 浏览次数:30
- 题名/责任者:
- Proceedings Symposium on Plasma Processing
- 出版发行项:
- Pennington, N. J. Electrochemical Society , Inc. 1982
- 载体形态项:
- 516c23cm
- 附加个人名称:
- Symposium on Plasma Processing
- 中图法分类号:
- TN05
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