杭州电子科技大学图书馆书目检索系统

Online Public Access Catalogue

题名/责任者:

中国电子信息工程科技发展研究.集成电路芯片制造工艺专题/中国信息与电子工程科技发展战略研究中心

出版发行项:

北京:科学出版社,2019

ISBN及定价:

978-7-03-062359-1/CNY48.00

载体形态项:

72页:图;21cm

其它题名:

集成电路芯片制造工艺专题

团体责任者:

中国信息与电子工程科技发展战略研究中心 编著

学科主题:

电子信息-信息工程-科技发展-研究-中国

学科主题:

集成芯片-制造-科技发展-研究-中国

中图法分类号:

G203

书目附注:

有书目 (第71-72页)

提要文摘附注:

本书尝试从芯片大生产制造的角度，介绍芯片制造关键单项工艺和工艺集成技术(与《中国电子信息工程科技发展研究：集成电路产业专题》衔接)。试图以产业发展主流工艺为导向，侧重原理和产业应用实际相结合，尽量避免冗长深奥的物理、化学公式和原理推导。定性地对芯片生产制造工艺中的关键单项工艺进行描述，并在介绍单项工艺后，解释具有复杂系统工程特点的工艺集成技术难点。重点介绍芯片制造工艺中存在的五个主要挑战和可能的解决途径。最后讨论芯片制造工艺产业链生态链的依赖关系。

豆瓣简介：