杭州电子科技大学图书馆书目检索系统

Online Public Access Catalogue

题名/责任者:

芯片制造:半导体工艺制程实用教程/(美) Peter Van Zant著 韩郑生译

版本说明:

第3版

出版发行项:

北京:电子工业出版社,2020

ISBN及定价:

978-7-121-39983-1/CNY89.00

载体形态项:

376页:图;26cm

统一题名:

Microchip fabrication : a practical guide to semiconductor processing

其它题名:

半导体工艺制程实用教程

丛编项:

国外电子与通信教材系列

个人责任者:

赞特 (Zant, Peter Van) 著

个人次要责任者:

韩郑生 译

学科主题:

芯片-生产工艺

中图法分类号:

TN430.5

版本附注:

据原书第6版译出

出版发行附注:

限中国大陆发行 由麦格劳-希尔(亚洲)教育出版公司和电子工业出版社合作出版

责任者附注:

责任者Zant规范汉译姓: 赞特

提要文摘附注:

本书是一本介绍半导体集成电路和器件制造技术的专业书，在半导体领域享有很高的声誉。本书的讨论范围包括半导体工艺的每个阶段：从原材料的制备到封装、测试和成品运输，以及传统的和现代的工艺。全书提供了详细的插图和实例，并辅以小结和习题，以及丰富的术语表。第六版修订了微芯片制造领域的新进展，讨论了用于图形化、掺杂和薄膜步骤的先进工艺和尖端技术，使隐含在复杂的现代半导体制造材料与工艺中的物理、化学和电子的基础信息更易理解。本书的主要特点是避开了复杂的数学问题介绍工艺技术内容，并加入了半导体业界的新成果，可以使读者了解工艺技术发展的趋势。

豆瓣简介：