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题名/责任者:

半导体光谱测试方法与技术/张永刚，顾溢，马英杰著

出版发行项:

北京:科学出版社,2016

ISBN及定价:

978-7-03-047222-9 精装/CNY128.00

载体形态项:

331页:图;24cm

丛编项:

半导体科学与技术丛书

个人责任者:

张永刚 著

个人责任者:

顾溢 著

个人责任者:

马英杰 著

学科主题:

半导体-光谱分析

中图法分类号:

O472

提要文摘附注:

本书在回顾光谱学和光谱仪器的发展过程后，对半导体中涉及的主要光学过程以及半导体材料、器件及应用研究中需要哪些光谱分析手段和方法作了简要介绍，然后以分光（色散）和傅里叶变换两种方法为基础讨论了光谱分析的基本原理、测试仪器、关键部件、系统构成以及限制因素等，并结合一系列测量实例对吸收谱类、光电谱类和发射谱类测量方法与技术及相关细节进行了说明。

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