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中文图书1.集成电路与等离子体装备 TN4/4141
馆藏复本:2
可借复本:2 赵晋荣[等]编
科学出版社 2024
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中文图书2.等离子体刻蚀工艺及设备 TN305.7/414
馆藏复本:3
可借复本:3 主编赵晋荣
电子工业出版社 2023
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中文图书3.等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用.第2版 TN405/133/2
馆藏复本:3
可借复本:3 张海洋等编著
清华大学出版社 2023
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中文图书4.等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用 TN405/133
馆藏复本:1
可借复本:1 张海洋等编著
清华大学出版社 2018
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