MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：94
- 题名/责任者:
- 芯片制造:半导体工艺制程实用教程/(美)Peter Van Zant著 韩郑生，赵树武译
- 出版发行项:
- 北京:电子工业出版社,2010
- ISBN及定价:
- 978-7-121-11372-7/CNY55.00
- 载体形态项:
- 387页:图;26cm
- 并列正题名:
- Microchip fabrication:a practical guide to semiconductor processing
- 其它题名:
- 半导体工艺制程实用教程
- 丛编项:
- 国外电子与通信教材系列
- 个人责任者:
- (美) 赞特 (Van Zant, Peter) 著
- 个人次要责任者:
- 韩郑生 译
- 个人次要责任者:
- 赵树武 译
- 学科主题:
- 芯片-半导体工艺-教材
- 中图法分类号:
- TN430.5
- 版本附注:
- 据原书第5版译出
- 版本附注:
- 由美国麦格劳-希尔教育出版(亚洲)司授权出版
- 责任者附注:
- CIP题责任者汉译姓：赞特
- 提要文摘附注:
- 本书共分18章，主要内容包括：半导体工业、半导体材料和化学品的性质、晶体生长与硅晶圆制备、晶圆制造概述、污染控制、生产能力和工艺良品率、氧化、基本图形化工艺流程——从表面准备到曝光等。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN430.5/220 | 71647254 | - |  自然书库（3F东）
|
可借 | 现代技术部（1F） |
| TN430.5/220 | 71647255 | - | 自然书库（3F东）
|
可借 | 现代技术部（1F） |
| TN430.5/220 | 71647256 | - | 自然书库（3F东）
|
可借 | 现代技术部（1F） |
| TN430.5/220 | 71647257 | - | 自然书库（3F东）
|
可借 | 现代技术部（1F） |
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