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题名/责任者:

MEMS技术及应用/蒋庄德等著

出版发行项:

北京:高等教育出版社,2018

ISBN及定价:

978-7-04-050478-1 精装/CNY69.00

载体形态项:

318页:图;27cm

并列正题名:

Technologies and applications of MEMS

丛编项:

先进制造科学与技术丛书

个人责任者:

蒋庄德 著

学科主题:

微电机

中图法分类号:

TM38

一般附注:

高等学校教材 机械工程前沿著作系列

责任者附注:

蒋庄德，男，中国工程院院士，西安交通大学教授，英国伯明翰大学博士、名誉教授，澳大利亚新南威尔士大学客座教授；教育部科学技术委员会副主任兼战略研究指导委员会主任等职，发表学术论文600余篇。

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书讨论的主题是微机电系统(MEMS)这一前沿的交叉学科。作者通过对MEMS技术的主要方面：结构、材料、工艺、设计、测量进行系统论述，并随之以对MEMS典型应用的分类介绍，为读者勾勒出当前微机电系统的发展全貌。作为对主体内容的补充和延伸，纳机电系统和石墨烯在本书的结尾部分被予以专门的讨论。为MEMS专业课程提供适用的本科和研究生教材是本书的出发点，为达此目的，本书在内容安排上注意做到基础理论知识和具体技术细节并重，力图体现作者对MEMS专业方向学生的培养理念和教学思路。

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