MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：100
- 题名/责任者:
- 半导体制造与过程控制基础/(美)Gary S. May, (美)Costas J. Spanos著 李虹, 肖春虹, 马俊婷译
- 出版发行项:
- 北京:机械工业出版社,2009
- ISBN及定价:
- 978-7-111-25665-6/CNY60.00
- 载体形态项:
- 11,377页:图;24cm
- 丛编项:
- 国际信息工程先进技术译丛
- 个人责任者:
- (美) 梅凯瑞 (May, Gary S.) 著
- 个人责任者:
- (美) 斯帕农斯 (Spanos, Costas J.) 著
- 个人次要责任者:
- 李虹 译
- 个人次要责任者:
- 肖春虹 译
- 个人次要责任者:
- 马俊婷 译
- 学科主题:
- 半导体工艺
- 中图法分类号:
- TN305
- 相关题名附注:
- 封面英文题名：Fundamentals of semiconductor manufacturing and process control
- 提要文摘附注:
- 本书详细地研究并阐述了在高产量制造环境中，电子材料和供料转换为完善的集成电路和电子产品的过程和方法。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN305/400.2 | 71408948 | - |  样本书阅览室（密集书库136）
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非可借 | |
| TN305/400.2 | 71408949 | - | 自然书库（3F东）
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可借 | 总借还书处（2F） |
| TN305/400.2 | 71408950 | - | 自然书库（3F东）
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可借 | |
| TN305/400.2 | 71408951 | - | 自然书库（3F东）
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可借 | |
| TN305/400.2 | 71408952 | - | 自然书库（3F东）
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可借 |
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